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傾斜光柵的參數(shù)優(yōu)化及公差分析

摘要

 

對(duì)于背光系統(tǒng)、光內(nèi)連器和近眼顯示器等許多應(yīng)用來說，將光高效地耦合到引導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個(gè)重要的問題。對(duì)于這種應(yīng)用，傾斜光柵以能夠高效地耦合單色光而聞名。在本例中，提出了利用嚴(yán)格傅里葉模態(tài)方法（FMM，也稱為RCWA）對(duì)傾斜光柵的優(yōu)化方法。優(yōu)化后的光柵的衍射效率超過90%。此外，還研究了其對(duì)光柵的傾角偏差和圓角邊緣的影響。


 

建模任務(wù)

 

優(yōu)化

  

為了為傾斜光柵找到一組優(yōu)化的參數(shù)，優(yōu)化文檔允許為目標(biāo)值定義參數(shù)約束和權(quán)重值。更多信息請(qǐng)參見：

參數(shù)優(yōu)化文檔的介紹
 

第一級(jí)次的參數(shù)優(yōu)化

 

 

結(jié)果——公差分析



 

VirtualLab Fusion技術(shù)   

      

 

文檔信息

 

拓展閱讀
用于光波導(dǎo)耦合的傾斜光柵設(shè)計(jì)
單入射方向光波導(dǎo)耦合光柵的優(yōu)化
參數(shù)優(yōu)化文檔的介紹
傾斜光柵的高級(jí)配置
利用界面配置光柵結(jié)構(gòu)
光柵級(jí)次分析器