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傾斜光柵的魯棒性優(yōu)化

摘要                                                                            

 

 

由于制造過程中潛在的不準(zhǔn)確性，對于一個(gè)好的光柵設(shè)計(jì)來說，面對光柵參數(shù)的微小變化，提供穩(wěn)健的結(jié)果是至關(guān)重要的。VirtualLab Fusion為光學(xué)工程師提供了各種工具，可以將這種行為直接納入優(yōu)化過程，例如參數(shù)變化分析儀。該工具結(jié)合了同一系統(tǒng)的多次迭代，在優(yōu)化過程中實(shí)現(xiàn)了評價(jià)函數(shù)的表示和自動(dòng)計(jì)算，如平均效率。在這個(gè)用例中，我們通過稍微改變填充因子來優(yōu)化傾斜光柵來演示這個(gè)特性。            

仿真任務(wù)                                                                            

  

 

連接建模技術(shù):傾斜光柵

                                                                     

 

可用的微結(jié)構(gòu)建模技術(shù):

                                                                                

光柵階數(shù)分析儀



參數(shù)變化分析儀                                                                            

  

                                                                             

 

參數(shù)優(yōu)化                                                                            

 

                   

 

優(yōu)化結(jié)果-平均效率

                                                   

 

優(yōu)化結(jié)果-對比度